松下貼片機(jī)MSF 2 STAGE不定時(shí)的整體偏移
松下貼片機(jī)MSF 2 STAGE不定時(shí)的整體偏移
現(xiàn)象描述:
一臺(tái)MSF 2 STAGE在生產(chǎn)不定時(shí)的整體偏移,每天有10來(lái)片.MARK,軌道的夾邊,定位.我都CHECK過(guò)了.在之前我們沒(méi)動(dòng)過(guò)什么啊!是不是DRIVE有問(wèn)題啊!還是程式有問(wèn)題啊!
分析處理:
1. 檢查光柵尺沾污沒(méi)有啊,如果沒(méi)有沾污就檢查一下光柵讀取器有沒(méi)有問(wèn)題。有必要校正一下。
2.本身的程序,定位狀態(tài),氣源狀態(tài),MARK狀態(tài),*后是機(jī)器狀態(tài)。
3. 如果TABLE上升下降很慢,懷疑是MARK TEACH 后,TABLE還沒(méi)有頂?shù)轿弧?/span>
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